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序號(hào)

測(cè)量?jī)x器名稱(chēng)

被測(cè)量

校準(zhǔn)規(guī)范名稱(chēng)及編號(hào)

測(cè)量范圍

說(shuō)明

1

坐標(biāo)測(cè)量球

圓度

坐標(biāo)測(cè)量球校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1422

(0～10)μm

U=0.05μm

長(zhǎng)度

Ф(10～50)mm

U=0.3μm

2

*坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

長(zhǎng)度

坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范JJF1064

(0～1000) mm

U=0.7μm+1.5×10 ^-6 L

3

*圓度儀

圓度

圓度、圓柱度測(cè)量?jī)x檢定規(guī)程JJG429

(0.01～25)μm

U_rel=1.6%

4

平晶

平面度

平晶檢定規(guī)程JJG28

d: (30～100)mm

U=0.03μm

平行度

(0～100)mm

U=0.2μm

5

*平板

平面度

平板檢定規(guī)程JJG117

(100×100)mm～（1500×1500）mm

U=(0.9～2.2)μm

(1600×1000)mm～（3000×5000）mm

U=(2.9～5.7)μm

6

套管尺

長(zhǎng)度

套管尺檢定規(guī)程JJG 473

(0.6～2) m

U=（0.06～0.37）mm

7

塞尺

長(zhǎng)度

塞尺檢定規(guī)程JJG62

(0.02～3)mm

U=0.5μm

8

圓錐螺紋量規(guī)

長(zhǎng)度

圓錐螺紋量規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范TSZJ82

塞規(guī)（1～150）mm

U=4.5μm

環(huán)規(guī)（3～160）mm

U=6.2μm

9

石油螺紋工作量規(guī)

長(zhǎng)度

石油螺紋工作量規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1108

塞規(guī)（10～150）mm

U=4.5μm

環(huán)規(guī)（10～160）mm

U=6.2μm

10

標(biāo)準(zhǔn)環(huán)規(guī)

長(zhǎng)度

標(biāo)準(zhǔn)環(huán)規(guī)檢定規(guī)程JJG894

(3～200)mm

U=0.7μm+6×10^-6L

11

圓柱螺紋量規(guī)

長(zhǎng)度

圓柱螺紋量規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范JJF1345

塞規(guī): (0.25～150)mm

U=3.6μm

環(huán)規(guī)：(3～160)mm

U=4.0μm

12

*帶表卡規(guī)

長(zhǎng)度

帶表卡規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1253

(5～100）mm

U=5μm+5×10^-5L

13

*百分表式卡規(guī)

長(zhǎng)度

百分表式卡規(guī)檢定規(guī)程JJG109

(0～1000）mm

U=3.2μm

14

專(zhuān)用量規(guī)

長(zhǎng)度

(0～2000)mm

U=1.0μm+1.5×10^-6L

角度

(0～360)°

U=0.06°

15

步距規(guī)

長(zhǎng)度

步距規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范JJF1258

(0～1000)mm

U=2μm+1×10^-6L

16

針規(guī)、三針

長(zhǎng)度

針規(guī)、三針校準(zhǔn)規(guī)范JJF1207

針規(guī): (0.1～25)mm

U=0.5μm

17

*光學(xué)計(jì)

長(zhǎng)度

光學(xué)計(jì)檢定規(guī)程JJG45

(-100～100)μm

U=0.12μm

18

*測(cè)長(zhǎng)機(jī)

長(zhǎng)度

測(cè)長(zhǎng)機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范JJF1066

微米標(biāo)尺:(0～100)μm

U=0.3μm

毫米標(biāo)尺:(0～100)mm

U=0.5μm

分米標(biāo)尺:(0～1000)mm

U=(0.6～2.1)μm

19

*測(cè)長(zhǎng)儀

長(zhǎng)度

測(cè)長(zhǎng)儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF1189

(0～1000)mm

U=0.3μm+1.5×10^-6L

20

*激光測(cè)徑儀

長(zhǎng)度

激光測(cè)徑儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF1250

(0～30)mm

U=0.7μm

21

*接觸式干涉儀

長(zhǎng)度

接觸式干涉儀檢定規(guī)程JJG101

(-50～50)μm

U=0.03μm

22

*電感測(cè)微儀

長(zhǎng)度

電感測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF1331

(-1000～+1000)μm，（1μm/div）

U=1μm

23

斜塊式測(cè)微儀檢定器

長(zhǎng)度

斜塊式測(cè)微儀檢定器檢定規(guī)程JJG525

(0～2000)μm

U=2.1 μm

24

*光柵式測(cè)微儀

長(zhǎng)度

光柵式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1682

(0～100)mm

U=0.15μm+1×10^-6L

25

表面粗糙度比較樣塊

表面粗糙度

粗糙度比較樣塊校準(zhǔn)規(guī)范JJF1099

(0.025～25)μm

U_rel=7%

26

*表面粗糙度測(cè)量?jī)x

表面粗糙度

觸針式表面粗糙度測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范JJF1105

(0.1～3.2)μm

U_rel=6%

27

半徑樣板

長(zhǎng)度

半徑樣板檢定規(guī)程JJG58

(1～25)mm

U=(7～9)μm

28

螺紋樣板

長(zhǎng)度

螺紋樣板檢定規(guī)程JJG60

(0.4～6.0)mm

U=3.0μm

29

刮板細(xì)度計(jì)

長(zhǎng)度

刮板細(xì)度計(jì)檢定規(guī)程JJG905

(0～150）μm

U=(0.5～1.5)μm

30

*讀數(shù)、測(cè)量顯微鏡

長(zhǎng)度

讀數(shù)、測(cè)量顯微鏡檢定規(guī)程JJG571

31

*工具顯微鏡

長(zhǎng)度

工具顯微鏡檢定規(guī)程JJG56

(0～100)mm

U=0.6μm

(>100～200)mm

U=0.9μm

32

*金相顯微鏡

長(zhǎng)度

金相顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范 JJF1914

(0～10)mm

33

*生物顯微鏡

長(zhǎng)度

生物顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范JJF1402

(0～10)mm

U=1.5μm

物鏡放大倍數(shù): 4×～100×

U_rel=1.5%

34

*干涉顯微鏡

長(zhǎng)度

干涉顯微鏡檢定規(guī)程JJG77

(0.05～1.00) μm

U_rel=2.2%

35

*體視顯微鏡

體視顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范JJF（閩）1063

(0.5～20)×

U_rel=1.0%

36

*掃描電子顯微鏡

長(zhǎng)度

掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1916

(0.1～50)μm

U=25nm+2×10^-9L

37

*影像測(cè)量?jī)x

長(zhǎng)度

影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范JJF1318

38

*刀具預(yù)調(diào)測(cè)量?jī)x

長(zhǎng)度

刀具預(yù)調(diào)測(cè)量?jī)x檢定規(guī)程JJG938

(0～1000)mm

39

*超聲波測(cè)厚儀

長(zhǎng)度

超聲波測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF1126

(0.5～100)mm

40

*磁性、電渦流式覆層測(cè)厚儀

長(zhǎng)度

磁性、電渦流式覆層厚度測(cè)量?jī)x檢定規(guī)程JJG818

(0～1250)μm

U=(0.4～6)μm

厚度片 H≤50μm

U=0.4μm

41

*錫膏厚度測(cè)量?jī)x

長(zhǎng)度

(0～400) μm

U=1.1μm

42

*X射線熒光鍍層測(cè)厚儀

長(zhǎng)度

X射線熒光鍍層測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范 JJF1306

43

*橡膠塑料薄膜測(cè)厚儀

長(zhǎng)度

橡膠、塑料薄膜測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1488

(0～30)mm

U=(2.5~3.4)μm

44

*電解式（庫(kù)倫）測(cè)厚儀

長(zhǎng)度

電解式（庫(kù)倫）測(cè)厚儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1707

(0.1～20)μm

U_rel=10%

45

*皮革面積測(cè)量機(jī)

面積

皮革面積測(cè)量機(jī)檢定規(guī)程JJG413

(0.2～1.0) m²

U=0.002m²

46

*氣動(dòng)測(cè)量?jī)x

長(zhǎng)度

氣動(dòng)測(cè)量?jī)x檢定規(guī)程JJG356

浮標(biāo)式：(-80～80)μm

U=(0.2~1.3)μm

47

位移傳感器

長(zhǎng)度

線位移傳感器校準(zhǔn)規(guī)范JJF1305

(0～500)mm

U=(1~12)μm

48

角位移傳感器

角度

角位移傳感器校準(zhǔn)規(guī)范JJF1352

(0.1～360)°

U_rel=0.08%

49

*試驗(yàn)篩

長(zhǎng)度

試驗(yàn)篩校準(zhǔn)規(guī)范JJF1175

U=0.03mm

50

焊接檢驗(yàn)尺

長(zhǎng)度

焊接檢驗(yàn)尺檢定規(guī)程JJG704

(0～60) mm

U=0.05mm

角度

0o～150o

U=9′

51

*濕膜厚度測(cè)量規(guī)

長(zhǎng)度

濕膜厚度測(cè)量規(guī)校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1484

(0～3000) μm

52

53

玩具類(lèi)檢測(cè)器具

長(zhǎng)度

玩具類(lèi)檢測(cè)器具校準(zhǔn)規(guī)范TSZJ 1

(0～600)mm

U=0.03mm

不做關(guān)節(jié)式可觸及探頭

角度

0°～360°

U=2'

質(zhì)量

(0~6000）g

U=0.2g

轉(zhuǎn)速

(0～40)mm/s

U=0.3mm/s

力值

(1～50)N

U=0.04N

硬度

(10~100）HA

U=1.5HA

54

針狀、片狀規(guī)準(zhǔn)儀

長(zhǎng)度

針狀、片狀規(guī)準(zhǔn)儀校準(zhǔn)規(guī)范JJF1593

(0～200)mm

U=0.03mm

55

*坍落度筒及搗棒

長(zhǎng)度

56

工作用玻璃尺

長(zhǎng)度

工作用玻璃尺校準(zhǔn)規(guī)范TSZJ 21

(0～300）mm

U=3μm

57

分辨力板

長(zhǎng)度

分辨力板檢定規(guī)程JJG827

(0～5) mm

U=2.3 μm

58

*試模

長(zhǎng)度

試模校準(zhǔn)規(guī)范JJF1307

角度

59

*半導(dǎo)體集成電路制造氮化硅膜厚測(cè)試儀

長(zhǎng)度

半導(dǎo)體集成電路制造氮化硅膜厚測(cè)試儀校準(zhǔn)規(guī)范TSZJ 76

(20～200)nm

U_rel=3.0%

60

*半導(dǎo)體集成電路制造二氧化硅膜厚測(cè)試儀

長(zhǎng)度

半導(dǎo)體集成電路制造二氧化硅膜厚測(cè)試儀校準(zhǔn)規(guī)范TSZJ 77

(2～1010)nm

U_rel=3.0%

61

*半導(dǎo)體集成電路制造晶圓表面顆粒測(cè)試儀

長(zhǎng)度

半導(dǎo)體集成電路制造晶圓表面顆粒測(cè)試儀校準(zhǔn)規(guī)范TSZJ 78

40 nm～ 4μm

U_rel=5.0%

62

*半導(dǎo)體集成電路制造納米尺寸測(cè)試儀

長(zhǎng)度

半導(dǎo)體集成電路制造納米尺寸測(cè)試儀校準(zhǔn)規(guī)范TSZJ 79

(25～110)nm

U_rel=3.0%

63

*半導(dǎo)體集成電路制造臺(tái)階高度測(cè)試儀

長(zhǎng)度

半導(dǎo)體集成電路制造臺(tái)階高度測(cè)試儀校準(zhǔn)規(guī)范TSZJ 80

(8～940)nm

U_rel=3.0%

64

楔形塞尺

長(zhǎng)度

楔形塞尺校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1548

(0～60）mm

U=0.02mm

65

漆膜劃格器

長(zhǎng)度

漆膜劃格器校準(zhǔn)規(guī)范JJF（皖）53

角度

(25~35）°

U=0.2°

66

*坐標(biāo)定位測(cè)量系統(tǒng)

長(zhǎng)度

坐標(biāo)定位測(cè)量系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范JJF1251

67

*關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

長(zhǎng)度

關(guān)節(jié)臂式坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范JJF1408

68

*引伸計(jì)

長(zhǎng)度

引伸計(jì)檢定規(guī)程JJG762

(0～25)mm

長(zhǎng)度

標(biāo)距：(0～600)mm

69

引伸計(jì)標(biāo)定器

長(zhǎng)度

引伸計(jì)檢定器校準(zhǔn)規(guī)范JJF1096

(0～25)mm

70

*滾筒跌落試驗(yàn)機(jī)

轉(zhuǎn)速

滾筒跌落試驗(yàn)機(jī)校準(zhǔn)規(guī)范TSZJ 15

長(zhǎng)度

U=2mm

71

*導(dǎo)體伸長(zhǎng)率儀

長(zhǎng)度

導(dǎo)體伸長(zhǎng)率檢定規(guī)程JJG(粵)005

(0.1～400)mm

U_rel=0.3％

72

*面差尺

長(zhǎng)度

面差尺校準(zhǔn)規(guī)范JJF（翼）154

（-50~+50）mm

U=0.02mm

73

超聲波探傷試塊

長(zhǎng)度

超聲波探傷試塊校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1487

(0～300）mm

U=0.004mm

74

*垂直軸偏差測(cè)定儀

長(zhǎng)度

垂直軸偏差測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范JJF（翼）153

U=0.008mm

75

*表面輪廓表

長(zhǎng)度

表面輪廓表校準(zhǔn)規(guī)范JJF 1476

(0～6.5）mm

U=1.8μm